中微公司(688012)：营收快速增长 高投入研发加速推出设备

事件：公司发布2025 年半年报


　　【25Q2】营收28.9 亿元，同增51.26%，环增28.25%；归母净利3.9 亿元，同增46.8%，环增25.5%；扣非归母净利2.4 亿元，同增9.2%，环降19.4%；毛利率38.5%，同增0.4pcts，环降3pcts；归母净利率14.1%，同降0.4pcts，环降0.3pcts。


　　公司营收高速增长，扣非归母净利环比下降，主要系：1）25H1 产生的公允价值变动收益和投资收益合计约1.68 亿元，较24H1 亏损的0.08 亿元，增加1.76 亿元；2）毛利率环比下降3pcts；3）公司加大研发投入，25Q2 期间费用率为30.5%，同比+2.23pcts，环比+1.69pcts，其中25Q2 研发费用率为23.39%，同比+4.24pcts，环比+2.04pcts。


　　合同负债快速增长，高强度研发加速设备拓展。


　　合同负债。25Q2 末公司合同负债（预收款）31.65 亿元，相较于2024 年末的25.86 亿元增长22%，显现良好的在手订单增长态势。与此同时，公司保持高强度研发，使得净利有所承压，研发费用对应研发队伍的快速壮大，截至25H1，公司研发人员数量1321 人，较2024 年底的1190 人增长11%。目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。


　　公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。


　　品类持续拓展，先进设备研发取得重要突破


　　1）刻蚀领域：CCP 方面，截至25H1，CCP 刻蚀设备累计装机量超过4500 个反应台，较2024 年同期增长超过900 个反应台，累计装机突破了3300 个反应台。单反应台产品近年来在关键工艺取得持续突破，截至2025 年上半年累计装机接近1200 个反应台。


　　ICP 方面，公司的ICP 刻蚀设备在涵盖逻辑、DRAM、3D NAND、功率和电源管理、以及微电机系统等芯片和器件的50 多个客户的生产线上量产，并继续验证更多ICP 刻蚀工艺。截至25H1，ICP 刻蚀设备在客户端的累计安装数超过1200 个反应台。


　　2）薄膜沉积领域：公司已开发出六款薄膜沉积产品推向市场。中微公司钨系列薄膜沉积产品：CVD（化学气相沉积）钨设备，HAR（高深宽比）钨设备和ALD（原子层沉积）钨设备，可覆盖存储器件所有钨应用；该系列设备均已通过关键存储客户端现场验证，并获得客户重复量产订单。同时，公司钨系列产品也可满足先进逻辑客户钨接触孔应用性能需求，已付运机台到多个逻辑客户进行验证。同期，公司开发出应用于先进逻辑器件的金属栅系列产品：ALD 氮化钛，ALD 钛铝，ALD 氮化钽产品，已完成多个先进逻辑客户设备验证。此外，在现有的金属CVD 和ALD 设备研发基础上，公司同步推进多款CVD 和ALD设备开发，增加薄膜设备的覆盖率，进一步拓展市场。


　　3）公司EPI 设备已顺利付运成熟制程客户进行量产验证，并已经进入先进制程工艺验证和客户验证阶段；新一代高选择比预清洁腔体满足先进工艺的需求，已顺利付运先进制程客户端，进入工艺验证和客户验证阶段；常压外延设备现已完成开发，进入工艺调试阶段；常压EPI 设备已完成开发，进入工艺验证阶段。


　　先进封装+化合物拓宽赛道


　　【先进封装TSV 刻蚀有望高增】TSV 工艺为2.5D CoWoS 和3D SoIC 封装的必备工艺，随着AI 芯片需求爆发，有望带来对公司TSV 设备需求的快速增长。公司的TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装生产，公司ICP 技术设备类中的8 英寸和12 英寸深硅刻蚀设备Primo TSV 200E、Primo TSV 300E 在晶圆级先进封装、2.5D 封装和微机电系统芯片生产线等成熟市场继续获得重复订单的同时，在12 英寸的3D 芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户12 英寸微机电系统芯片产线上获得认证的机会，这些新工艺的验证为公司Primo TSV 300E 刻蚀设备拓展了新的市场。


　　【Micro-LED、碳化硅助力MOCVD 成长】公司在Micro-LED 和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场。


　　【超透镜和微机电系统取得良好进展】公司与国际领先客户合作，在超透镜（Metalenses）和基于12 英寸晶圆的微机电系统制造等方面都取得进展，公司设备已经在相应的生产线上进行最新技术的研发和试产。


　　盈利预测：


　　考虑公司持续高研发投入，加速设备推出节奏，我们调整公司2025-27 年归母净利预测为21/31/40 亿元（原2025-27 年归母净利润预期为24.2/33.4/41.7 亿元），对应PE 分别为65/44/34X。展望未来，公司订单需求旺盛，业绩向上趋势显著，维持“买入”评级。


　　风险提示：


　　刻蚀/MOCVD 设备新品市场开拓不及预期；先进封装需求不及预期；下游客户招标不及预期。

□.王.芳./.杨.旭    .中.泰.证.券.股.份.有.限.公.司